5月23日动静,据报导,近日日本光刻胶巨擘JSR的首席执行官埃里克约翰逊(Eric Johnson)在接受采访时暗示,虽然中国在尽力推进芯片的自给自足,但中国半导体工业需要的根本举措措施不足,好比很难掌握基于极紫外(EUV)光刻的繁杂芯片创造技能,成长进步前辈制程的芯片创造技能将很是坚苦。
约翰逊指出,我认为中国也很是想成长本身的EUV(极紫外光刻)能力以及相干的生态体系(好比EUV光刻胶)。但坦率地说,我认为他们要做到这一点很是坚苦。
现实上,荷兰光刻机巨擘阿斯麦(ASML)CEO温彼患上也在本年1月表达过以及约翰逊雷同的概念,认为中国不太可能复制召盘尖的EUV光刻机。但他那时弥补称,永遥别那末尽对于,中国的物理定律以及全地球的人是同样的,他们确定会测验考试。
另外,对于于中国在光刻胶领域的追逐,和但愿在高端光刻胶技能上的突破,约翰逊认为,即使中国得到相干化学成份简直切资料,但在纯度、精度及创造上都很是坚苦,且中国也没有供给链支撑。但中国当前踊跃投资成熟的芯片技能,也是不容轻忽的一部门,人们还没充实意想到,中国有几多机遇可以不依赖这些进步前辈制程。
资料显示,JSR公司成立于1957年,中文名为日本合成橡胶,是全球主要的光刻胶供给商之一。在运用方面,光刻胶是半导体、液晶面板(LCD)、印刷电路板(PCB) 等工业的首要原质料。
在半导体领域,今朝光刻机暴光光源一共有六种,分别是紫外全谱(300~450nm)、 G 线(436nm)、 I 线(365nm)、深紫外(DUV,包含 248nm 以及 193nm)以及极紫外(EUV),相对于应于各暴光波长的光刻胶也应运而生,对于应分别为,G 线光刻胶、I 线光刻胶、KrF光刻胶、 ArF光刻胶、EUV光刻胶。
今朝,在全球半导体光刻胶领域,主要被日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、美国杜邦、日本信越化学、富士电子、罗门哈斯等头部厂商所垄断,此中JSR盘踞了28%的市场。
而在高端半导体光刻胶市场上,JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球。在EUV光刻胶方面,TOK以及JSR有较高的份额。
从海内的光刻胶市场来望,低真个中g线/i线光刻胶自给率约为20%,KrF光刻胶自给率不足5%,而高真个ArF光刻胶彻底依赖入口,是海内半导体的卡脖子技能之一。
至于EUV光刻胶,因为美国的阻挠,年夜陆今朝没法入口EUV光刻机,是以国产EUV光刻胶的开发天然也无从谈起。
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