ASML的登峰之路,给你带来不一样的光刻机故事……(4万字长文)

不一样的荷兰人

提起荷兰,大多数人反应是郁金香的国度。郁金香纯洁,优雅,美丽,被视为胜利和美丽的象征。

一片片在田野里盛开的郁金香,在《星空》吹拂下,这鲜花如精灵一般摇曳着,飘舞着,芬芳的弥漫在《普罗旺斯的农场》上方。

破土而出的力量,在大自然关爱中尽情的成长,扩撒到天地之中,凝成春雨,再滴落《戴珍珠耳环的少女的》发梢。

美丽的农场,盛开的郁金香下,荷兰诞生了一代代才华横溢的艺术家,梵高,维米尔,伦勃朗,勃鲁盖尔,凡.艾克……

荷兰人天性自由,热情奔放,富有冒险精神,在17世纪开创大航海时代而被誉为“海上马车夫”。乐于冒险的荷兰人,总会给世界带来些许不同,甚至还推动历史车轮前进。

首台EXE 5000即将交付比利时的IMEC,而首台EXE 5200系列预计将在2024年后交付英特尔。也许3年后,我们将用上3nm制程的芯片,而ASML继续为这目标而奋斗。

终章 最后的反思

有人赞叹诞生于飞利浦的ASML是天之骄子,但是纵观整个ASML 38年的发展史,很难说它的发展过程是一帆风顺的。

创业前十年,亏损有九年,前期一台设备都卖不出去,但是ASML并没有放弃,而是紧紧抓住仅有的机会,一步步走上舞台中央。

不管对手多么先进的设备,ASML人不会因为对手做得好而心服口服,他们基本秉承一个态度:你好方面我要做的更好,你不好的方面,我更要想办法取代你,不断寻找对手设备缺陷并加以改正的过程,从而不断的自我突破。

合作,开放,创新,进取才是ASML能成为现在光刻设备霸主的内在精神。每一代ASML的研发人员,个个都具有科技偏执狂特质,每个人都追求精益求精,尽善尽美的科技信仰。

很多人一直在思考:为什么ASML能做出这样先进的光刻机,中国的公司还做不到?

从产业实际角度出发,光刻机乃是人类科技之集大成,是汇聚全球所有公司,科学家和众多工程师们共同努力的结果,要求中国把所有技术完全自主开发,这无疑痴人说梦。

研发光刻机需要众多前期技术做积累和铺垫,显然在这块基础科学上,中国还有很多旧账需要填,因此研发光刻机是一个厚积薄发的漫长过程,不轻言超越,更别提什么换道超车。

对于中国而言,核心技术当然要掌握,开放创新融入全球产业链,提出更好的技术和做出更好的产品才是正确的出路,而不是一味的封闭思想,搞技术对抗。

尽管目前由于半导体产业链的基础信任被某一些的政客,以各种理由切割,但是别人越是封闭,我们越是开放才显出一个自信的科技强国。

ASML作众多半导体设备商中,其实算最有情义的公司了。除了EUV,其他光刻机都能买到,包括前年顶配的NXT 2050i,中国大陆地区的就是批交付的。EUV光刻机由于光源卡在美国上手一直不给许可证才没法交付,并不是ASML或者荷兰政府故意硬卡。

全球政经环境风云突变,有挑战也有机会。我们不仅需要加大底层技术研发力度,更要还要吸取对方长处,不仅是技术,还包括管理,文化,市场运营,团体配合,产业链搭建等等,只有这样我们前进的动力才更足更稳。

ASML之所以能成为现在的样子,是在成立之处就计划好的,美国有个同行曾经说出这样一句话:“不管未来发生什么,ASML都会令世界瞩目”。

全文完。

——————————

笔者有话说:

15年前,大约是在2007年笔者在当年的《微型计算机》的一期文章中,读到了英特尔新版酷睿CPU开始导入ASML浸没式光刻机,于是ASML这个名字和浸没式光刻机就深深的印在我脑子里。没想到多年后,我会从事芯片行业的相关创投工作,这几年亲眼目睹中国半导体产业的迅猛发展。各种闲暇之余会写下各种长文,或分析新技术,或剖析公司,或预测行业发展,或以史为镜从国内外公司兴衰过程反思国内行业发展的得失。

在去年读完《光刻巨人——ASML的崛起之路》后,就有补完ASML后半段历史的冲动,今年受某平台的老师约稿,花费近4个月时间创作这篇4万余字科普长文,希望让更多人了解ASML,了解光刻机,了解半导体,普及科学,提高国人科学素养。

随着“中兴事件”,“华为事件”,美国无理打压中国开始。无数自媒体粉墨登场,各种吓尿体,震惊体的文章层出不穷,全篇胡说八道,但是偏偏还有不少人信以为真,反而说真话还被围攻,动不动就扣“卖国党”,“恨国党”帽子,实在是令人痛心。

笔者以余生为誓,求真求实,与妖魔邪论战斗到底!

by——猛练自然强

参考资料:

光刻巨人——ASML崛起之路;

光刻机之战;

光刻机之战(续);

光刻机之战3;

光刻机市场的战争;

光刻机小讲堂:解密光刻机内的微影大神;

产业观察丨日本1970年代产业转型研究(五):扶持新兴产业;

芯史——光刻机编年史;

从德国蔡司和光刻机的故事聊聊大历史的变迁;

从“小破厂”到全球一哥,光刻机巨头ASML的周期逆袭史;

芯史,光刻机编年史;

光刻机战争1980:日本双雄的崛起;

光刻机详解:镜头及成像系统;

光刻机战争上:芯片时代的开启;

光刻机三巨头的殊途同归;

光刻机巨头ASML的十年变迁史

浅谈高数值孔径EUV系统的好处;

浅谈下一代EUV光刻机,NA系统的变化;

林本坚亲笔讲述:浸没式光刻机研发的台前幕后;

Intel 4 工艺预览;

1nm 以下先进制程工艺发展路线浮出水面;

浅谈下一代EUV光刻机;

泽尼克像差的形式;

ASML官网资料;

蔡司官网资料;

尼康官网资料;

以及笔者与当年ASML研发工程师的大量面对面访谈

……

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